Silizium-Halbleitertechnologie | Taschenbuch

Cover: 9783658423773 | Silizium-Halbleitertechnologie | Ulrich Hilleringmann | Taschenbuch

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Beschreibung

Das Lehrbuch behandelt die Grundlagen und die technische Durchführung der Einzelprozesse zur mikroelektronischen Schaltungsintegration in der Silizium-Halbleitertechnologie. Die Integrationstechnik setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen Nanometern gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht der Prozessführung erläutert. Moderne 3D-Bauformen für Feldeffekttransistoren runden den Inhalt ab.

Über den Autor

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Zusammenfassung

Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen

Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik

Aktuelle Verfahren der mikroelektronischen Integrationstechnik

Inhaltsverzeichnis

Herstellung von Siliziumscheiben.- Oxidation des dotierten Siliziums.- Lithografie.- Ätztechnik.- Dotiertechniken.- Depositionsverfahren.- Metallisierung und Kontakte.- Scheibenreinigung.- MOS-Technologien zur Schaltungsintegration.- Erweiterungen zur Höchstintegration.- Transistoren mit Nanometer-Abmessungen.- Bipolar-Technologie.- Montage integrierter Schaltungen.

Details

Erscheinungsjahr:	2023
Fachbereich:	Nachrichtentechnik
Genre:	Technik
Rubrik:	Naturwissenschaften & Technik
Medium:	Taschenbuch
Inhalt:	xii 309 S. 306 s/w Illustr. 309 S. 306 Abb.
ISBN-13:	9783658423773
ISBN-10:	3658423773
Sprache:	Deutsch
Herstellernummer:	89009212
Ausstattung / Beilage:	Paperback
Einband:	Kartoniert / Broschiert
Autor:	Hilleringmann, Ulrich
Auflage:	8. Aufl. 2023
Hersteller:	Springer Fachmedien Wiesbaden Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH
Maße:	240 x 168 x 18 mm
Von/Mit:	Ulrich Hilleringmann
Erscheinungsdatum:	27.10.2023
Gewicht:	0,546 kg

Artikel-ID: 127196968