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Sputtering by Particle Bombardment II
Sputtering of Alloys and Compounds, Electron and Neutron Sputtering, Surface Topography
Taschenbuch von R. Behrisch
Sprache: Englisch

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Beschreibung
With contributions by numerous experts
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Inhaltsverzeichnis
and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.
Details
Erscheinungsjahr: 2014
Fachbereich: Atomphysik & Kernphysik
Genre: Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Physik, Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Reihe: Topics in Applied Physics
Inhalt: xiii
394 S.
ISBN-13: 9783662311691
ISBN-10: 3662311690
Sprache: Englisch
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Behrisch, R.
Redaktion: Behrisch, R.
Herausgeber: R Behrisch
Auflage: Softcover reprint of the original 1st ed. 1983
Hersteller: Springer-Verlag GmbH
Springer Berlin Heidelberg
Topics in Applied Physics
Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße: 229 x 152 x 23 mm
Von/Mit: R. Behrisch
Erscheinungsdatum: 23.08.2014
Gewicht: 0,594 kg
Artikel-ID: 105087945
Inhaltsverzeichnis
and overview.- Sputtering of multicomponent materials.- Chemical sputtering.- Sputtering by electrons and photons.- Sputtering of solids with neutrons.- Heavy ion sputtering induced surface topography development.- Development of surface topography due to gas ion implantation.
Details
Erscheinungsjahr: 2014
Fachbereich: Atomphysik & Kernphysik
Genre: Mathematik, Medizin, Naturwissenschaften, Physik, Technik
Rubrik: Naturwissenschaften & Technik
Medium: Taschenbuch
Reihe: Topics in Applied Physics
Inhalt: xiii
394 S.
ISBN-13: 9783662311691
ISBN-10: 3662311690
Sprache: Englisch
Ausstattung / Beilage: Paperback
Einband: Kartoniert / Broschiert
Autor: Behrisch, R.
Redaktion: Behrisch, R.
Herausgeber: R Behrisch
Auflage: Softcover reprint of the original 1st ed. 1983
Hersteller: Springer-Verlag GmbH
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Topics in Applied Physics
Verantwortliche Person für die EU: Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, D-69121 Heidelberg, juergen.hartmann@springer.com
Maße: 229 x 152 x 23 mm
Von/Mit: R. Behrisch
Erscheinungsdatum: 23.08.2014
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